ULVAC愛發(fā)科 精品 觸針 輪廓儀

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P-170是在經(jīng)過驗(yàn)證的P-17的基礎(chǔ)上增加了自動運(yùn)輸機(jī)構(gòu)的型號。標(biāo)準(zhǔn)配備傳送機(jī)器人、預(yù)對準(zhǔn)器、自動XY-θ平臺、模式識別功能等，因此只需放置盒即可自動測量。

特征

■晶圓自動傳送機(jī)構(gòu)

?支持Φ200mm單開晶圓盒

?支持雙開晶圓盒（選配）

?晶圓傳送機(jī)械手、非接觸式預(yù)對準(zhǔn)器

?支持φ75mm～φ150mm（選配）

■晶圓表面自動測量

?高精度自動XY-采用 θ 平臺

- 測量位置最多可注冊 1,000 個位置

- 使用模式識別功能校正測量位置

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機(jī)歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)

HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等